用于去除硅片经扩散工序后表面产生的磷硅玻璃
优点：
1 经典槽式结构，方便维护
2 伺服驱动系统保证举升和横移运动高速稳定
3 可定制的工艺过程和干燥处理方式
4 完善的过程控制系统，全自动控温和配液补液
5 友好的视窗操作界面，可进行参数设置、手动控制、工艺转换
技术参数
功能 去PSG
产品 单晶/多晶硅电池片 156*156*0.2 mm
125*125*0.2 mm
产能 单篮节拍 450秒（可依客户要求调整）
125mm*125mm 2400 pcs/hour
156mm*156mm 1600 pcs/hour
碎片率 <0.05%
配置 Siemens PLC，10寸彩色触摸屏，急停按钮、指示灯及系列报警系统，PP和SUS304槽体，GF阀门与管路配件，透明移门与视窗，特氟龙水枪，气 枪等
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苏州晶洲装备科技有限公司
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