太阳能电池PECVD减反膜膜厚及折射率测试仪 （在线和离线）

可对太阳能电池生产PECVD工艺后所镀氮化硅膜层的膜层厚度进行测试，可给出膜厚分布的MAP图。也可对所镀膜层的光学折射率n值进行测量。

对电池片采样可打每秒钟4000个测试样点。

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