砂浆在线回收工艺，是将废砂浆经在线回收设备处理，将可重复使用的碳化硅颗粒和切割液回收再利用，操作方便，节约了废砂浆储存空间，且有效降低了成本。在此过程中无需添加任何化学成分，保证了砂浆的原有性质。但由于回收的碳化硅、切割液的质量和比例直接影响硅片切割质量，本文主要论述在线回收砂浆对切割质量的影响及调整措施。
2 在线回收砂浆切割质量分析
2.1 不同回收比例的砂浆切割质量分析
随着砂浆回收比例的提升，砂浆的粒径、圆度及微粉含量都会有所变化，从而影响砂浆的切割能力。
从使用在线回收设备，逐渐提高砂浆的回收比例，经过不同阶段的配比情况，切割质量对比如下：
可以看出，使用第四阶段回收比例的砂浆切割质量情况相对较稳定，各项指标较理想。
