原子层沉积氧化铝钝化工艺帮助i-PERC太阳能电池效率达到19.6%

Imec、RENA和SoLayTec三家公司日前发布了使用原子层沉积(ALD)钝化技术的156mm x156mm i-PERC型晶硅太阳能电池，该电池采用imec的太阳能电池中试线生产，据称在未使用选择性发射极结构的前提下转换效率达19.6%。

Imec光伏部门负责氧化铝钝化开发的资深科学家奥德·罗斯柴尔德(Aude Rothschild)博士指出：“这些结果表明采用ALD技术生长的氧化铝薄层有着卓越的钝化性能，而且避免的传统工艺的一些问题。ALD氧化铝的钝化能力可以提高电池效率，预计在不远的将来太阳能电池性能会得到进一步的改善。我们的目标是在未来几个月将电池转换效率提高到20%。”

RENA太阳能生产部经理Franck Delahaye补充道：“这个优秀结果显示RENA的InPolish背面抛光和InOxSide隔离技术的成熟，并可用于下一代i-PERC电池的生产。”

SoLayTec联合创始人兼市场营销经理Roger Görtzen表示：“卓越的背面钝化结果显示SoLayTec的ALD氧化铝工艺的性能。实验室工艺可以放大并适用于批量生产，再加上三甲基铝(TMAI，ALD工艺中的铝源)消耗量少，将使成本达到最低。ALD氧化铝是高效p型PERC硅太阳能电池的首选钝化技术。

以上结果是在imec硅太阳能电池产业协作计划(IIAP)中所取得的，小批量电池平均转换效率达19.4%。