MKS提供半导体及太阳能产业最佳制程控制系统

万机仪器公司(MKS Instruments Inc.)成立于1961年，提供全球尖端制程科技所需的仪器、次系统、制程控制解决方案，以及量测、制程控制、能源、监测分析等，以提升制程效率及机器产能，其产品从核心技术衍生包含压力及气体流量量测及控制、材料输送、气体成分分析、静电消除管理、机器数据及控制技术、电浆源及气体产生器和相关真空技术，服务的产业包括半导体设备及生产工厂，以及相关薄膜制程应用，如：平面显示器、太阳能、光盘纪录媒体，以及任何先进镀膜技术，同时其产品及技术也应用于其它尖端科技如制药、生化制程、能源再生、环保监测等领域。


MKS以最优良产品结合产业布局提供包括：管理制程气体流量进出制程腔体、测量及控制混合制程气体压力、分析及监测气体成份、隔离制程环境受外在因素影响、供应制程电浆能源、产生腔体清洁用之制程气体、结合各式各样感应器、系统及控制器、管理静电效应、校正仪器确保制程再现性、整合产品提供特殊制程系统等。


在整体经济因素和全球竞争的影响下，半导体厂商一方面缩减资本支出，另一方面又要维持竞争优势。因此，MKS精心挑选在业界最受肯定的制程控制系统，推出新一代产品，希望帮助客户轻松升级现有设备，用更经济的方式持续提升制程质量、产量和机器使用率。


例如，MKS的远端电浆系统(Remote Plasma System) ，其专利产品ASTRON可以达到高效率的制程腔体清洁效果，透过模块化的设计，让使用者更容易管理与控制，提升制程管理效率并降低维护成本，广泛使用在半导体、平面显示器及太阳能产业。


万机科技为MKS在台湾的子公司，提供MKS相关产品销售及技术服务。随著半导体、平面显示器及太阳能产业的持续蓬勃发展，MKS也将投入更多资源以提供更好的产品及服务为产业的前景贡献心力。





图说：MKS远端电浆系统(Remote Plasma System)。