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PEGASO丝网印刷机的最新技术,应用材料太阳能事业部

2012-03-28 17:5733900








 
PEGASO丝网印刷印机。通过它的Baccini平台,可以制造太阳能电池板两面的电子线路。

该架构具有双打印头,在晶圆的生产过程中可以调整参数设置。该系统的规格包括:小于8微米对准精度,超过2900瓦每小时的产量,净产量大于2700瓦每小时,晶圆破损率小于0.15%,可以生产120μm的薄晶圆。

这个新的平台继续了Baccini“非常柔软的晶圆处理”方法,并且具有更先进的运动控制算法和平面电机和伯努利(Bernoulli)“Flippers”,这些都是优质工具必不可少的性能。此外,短运动链的设计理念直接提高了系统的精度和准确度。工具也不需要使用轴承。
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