延伸：
减抛刻蚀工序：去除非扩散面及四周的磷硅玻璃，硅片存在药液残留风险，裸露在环境中，容易受到粉尘污染；退火工序：抗PID，消除表面的晶格缺陷，硅片直接裸露在环境中，容易受到粉尘污染，高温工艺加剧污染程度；背钝化工序：通过在电池片背面生长AlOx+SiNx复合膜对电池的背表面进行钝化，极大地改善电池片的长波响应，有效降低背表面复合，提高开路电压，增加背表面反射；硅片直接裸露在环境，容易受到粉尘污染，钝化膜不均匀导致黑斑产生；正镀膜工序：在硅片表面均匀的镀上一层高效的减反射膜，减少光的反射损失，增强了吸收光的强度，提高电池效率，同时有钝化作，正膜成膜前硅片直接裸露在环境，容易受到粉尘污染。
减抛刻蚀工序：去除非扩散面及四周的磷硅玻璃，硅片存在药液残留风险，裸露在环境中，容易受到粉尘污染；退火工序：抗PID，消除表面的晶格缺陷，硅片直接裸露在环境中，容易受到粉尘污染，高温工艺加剧污染程度；背钝化工序：通过在电池片背面生长AlOx+SiNx复合膜对电池的背表面进行钝化，极大地改善电池片的长波响应，有效降低背表面复合，提高开路电压，增加背表面反射；硅片直接裸露在环境，容易受到粉尘污染，钝化膜不均匀导致黑斑产生；正镀膜工序：在硅片表面均匀的镀上一层高效的减反射膜，减少光的反射损失，增强了吸收光的强度，提高电池效率，同时有钝化作，正膜成膜前硅片直接裸露在环境，容易受到粉尘污染。
解决思路：
原因1解决思路：控制5.0μm级粉尘，减少0.5μm级悬浮颗粒，可有效减少车间黑斑发生率；镀膜工序的车间洁净度控制在千级范围内，黑斑发生率能控制在2%以下。
原因2解决思路：优化氧化铝沉积温度、压力、流量等参数；提升氧化铝钝化的均匀性；增强湿法清洗效果，减少1药液残留。