记者了解到,该标准由北方华创于2015年3月牵头组织编写,期间经过多轮讨论与完善,于2017年10月SEMI光伏标准秋季会议上通过最后一轮全球投票,在完成SEMI标准最后的流程审核后,于2018年5月向全球发布。SEMI中国光伏标准技术委员会为北方华创颁发了《SEMI标准发布证书》、《SEMI标准出版证书》。
负压扩散炉SEMI标准的发布,说明中国光伏生产设备相关指标达到国际先进水平,具备全球标准的制定能力。北方华创一直积极参与SEMI标准的制定,到目前为止,共参与制定SEMI半导体标准3项、SEMI光伏标准2项,代表国内企业积极在全球半导体及光伏行业发出中国声音。
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