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156多晶硅片线锯清洗后片子有问题

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156多晶硅片线锯清洗后,片子上有很多那种不到1mm左右的小白点,肉眼仔细观察就能看出来,另外就是洗后的片子中间部位用肉眼看能看出一团浅浅的阴影,与片子四周的颜色有区别,较暗一点。
我们用的是碱洗,请问这是什么原因造成的呀?
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