关于硅片清洗的问题,望赐教

1.有一些块状硅料上有一些孔,用酸洗后酸容易残留在孔中,不易用水清洗,请问大侠们有什么办法清洗干净?
2.一些片状硅料清洗时容易两片或多片黏结在一起,以至于有几个面没洗到,有什么方法么