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单晶硅电阻率头部虚高怎么处理？

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匿名
2011-05-16 20:52

1.采用什么设备？
2.采用多少温度？
3.退火时间如何控制？（温度如何控制？
4.是单晶棒退火还是硅片退火？

暂无最佳答案