文件类型：PDF文档
文件大小：0.67M
丁国江
峨眉半导体材料厂、所
三氯氢硅和四氯化硅混合比对多晶硅生产的影响
2011-03-25 23:092840下载
点赞 0
反对 0
举报 0
收藏 0
评论 0
- 直拉长苞单晶区熔式收尾工艺
0下载363浏览0.22M
- 直拉单晶硅中的氧和碳
0下载256浏览0.32M
- 多晶硅生产的节能减排措施
0下载307浏览0.2M
- 三氯氢硅合成炉尾气的治理
0下载320浏览0.17M
- United States Patent
0下载700浏览0.18M
- CZ生长原理及工艺流程
0下载582浏览0.03M
- 直拉单晶炉真空系统和充气系统的改进
0下载517浏览0.09M
- 硅单晶生长和硅片准备
0下载428浏览1.74M
- PV Policy Group
0下载608浏览1.24M