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EBSD analysis of polysilicon films formed by aluminium induced crystallization of amorphous silicon

2011-03-21 21:586500下载
文件类型：PDF文档
文件大小：1.29M
Ö. Tüzün a,⁎, J.M. Auger a,b, I. Gordon c, A. Focsa a, P.C. Montgomery a, C. Maurice b,
A. Slaoui a, G. Beaucarne c, J. Poortmans


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